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场发射扫描电子显微镜

发布时间：2010-12-17浏览次数：5文章来源：清华大学深圳国际研究生院

资产编号 名称 型号 生产厂家 单位编号 备注
09000741 场发射扫描电子显微镜 S-4800 日本日立公司 29182 无

 

 

性能指标及功能：二次电子分辨率: 1.4nm (1 kV，减速模式) ，1.0nm (15kV) ；加速电压: .5~30kV (0.1KV/步，可变)；放大倍率: x 20~ x 800,000；物镜光阑: 4孔，真空外选择和调校(内置加热器)。

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