发布时间：2020-09-23浏览次数：19文章来源：清华大学深圳国际研究生院
智能制造、先进传感器、MEMS传感器、柔性半导体、微纳制造、智能工厂、云制造、智能装备与系统、智能感知与测量、数字孪生。
