一、学科简介
研究方向包括分析仪器、微机电系统（MEMS）、光学精密加工与器件等。分析仪器方向重点研究小型质谱仪、离子迁移谱仪、微型光谱仪，及其在食品安全、环境监测等领域的应用；微机电系统方向重点研究柔性微型传感器、可穿戴器件、柔性微型机器人等；光学精密加工与器件方向主要研究精密光栅的制备方法及其在精密测量中的应用。
二、招生导师
姓名 | 研究方向 | 院网个人简介链接 |
王晓浩 | 分析仪器、微机电系统（MEMS） | https://www.sigs.tsinghua.edu.cn/wxh/main.htm |
张旻 | 微传感器与微系统 | https://www.sigs.tsinghua.edu.cn/zm/main.htm |
李星辉 | 光学精密加工 | https://www.sigs.tsinghua.edu.cn/lxh/main.htm |
备注：招生导师信息以每年博士生招生目录为准。
三、联系方式
电话：0755-26036356
邮箱：xu.mengling@sz.tsinghua.edu.cn
