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多光源成像系统

发布时间:2017-04-19

资产编号 名称 型号 生产厂家 单位编号 备注
11000334 多光源成像系统 SJ2000V2.0 深圳市菲恩电子科技 29181

 

性能指标及功能:测量范围(0~50)mm,测量分辨率0.1μm,示值误差:任意1mm≤1.0μm,任意2mm≤1.5μm,任意10mm≤2.0μm,任意30mm≤3.0μm,全程最大误差≤5.0μm,回程误差≤0.5μm,光栅细分连续性:任意20μm范围内,光栅位移时,读数须以0.1μm为单位连续变化,无跳点出现。

主要特点:光栅检测与仪表检定;自检功能: 有开机自检跳点功能。

 

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