2021年获得教育部课程思政示范课程（3/5）

2021年获得深圳市教育教学科研优秀成果一等奖1项（1/6）、二等奖1项（3/5）

2021年获得清华大学教学成果二等奖（4/5）、校课程思政示范课程（2/5）

2020年获得清华大学年度教学优秀奖

2012年获得清华大学先进工作者

2011年获得清华大学百年校庆先进个人

2010年研究成果“微型泵（喷）的设计理论与技术基础”获得北京市科学技术奖（二等），个人排名第五

2009年作为主要成员入选教育部创新团队

2005年研究成果“基于MEMS的载体测控系统及其关键技术研究”获得国家科学技术发明奖（二等），个人排名第四

2004年获得教育部首届“新世纪优秀人才”称号及支持

2004年研究成果“基于MEMS的载体测控系统及其关键技术研究”获得教育部提名国家科学技术奖技术发明奖（一等），个人排名第四

2003年研究成果“新型微流体器件、结构加工和相关应用研究”获得教育部提名国家科学技术奖（一等），个人排名第三

2000年研究成果“微小型泵及其相关技术研究”获得国家技术发明奖（四等），个人排名第六

1999年研究成果“微小型泵及其制造测试技术研究”获得教育部科技进步奖（发明类）二等奖，个人排名第六