10月29日，我院数据与信息研究院（以下简称“数信院”）与成都中嘉微视科技有限公司（以下简称“中嘉微视”）共建的光学精密量测前沿技术联合研究中心（以下简称“中心”）揭牌仪式暨第一次管理委员会会议举行。中心将面向半导体和新型显示产业关键量测需求，协同开展核心技术攻关、装备研制和人才培养，助力提升产业链自主可控水平。

揭牌仪式

中嘉微视董事长唐玉峰、首席技术官胡小平、人工智能首席技术官赵柏杨、深圳公司常务副总经理吴小飞、首席人力官袁琦等企业代表，数信院党总支书记王学谦、副书记周倩、副院长王智、智能仪器与装备研究所所长冯平法及师生代表参加活动。揭牌仪式由智能仪器与装备研究所副所长倪凯主持。

王学谦在致辞中表示，随着半导体和新型显示产业加速向微纳尺度演进，光学精密量测在工艺控制中的作用更加突出，而国内高端前道量检测设备仍受核心技术与算法制约等问题。数信院在前沿光学、精密测量领域具有较好的学术积累，中嘉微视具备装备开发、工程验证和产业化能力，双方共建中心有利于贯通基础研究、技术攻关与产业应用。中心将围绕先进封装、新型显示等领域，推动原创成果转化，培养兼具理论素养与工程能力的复合型人才。

唐玉峰表示，中心旨在打通产学研协同通道，推动前沿技术从实验室走向产线。中嘉微视将保障研发投入，开放产线测试场景、工程团队和验证平台，与数信院共同聚焦玻璃通孔（TGV）、晶圆、平板显示（FPD）量测与检测等方向开展攻关，加快形成自主可控的装备解决方案。

倪凯表示，中心定位为“国内领先、国际一流的前沿光学精密量测协同创新平台”，将围绕“突破物理极限、孵化高端装备、培养复合人才”三大目标，面向先进封装、第三代半导体与显示、微纳光电子等方向，开展亚微米至纳米级光学量测、高分辨率光学成像、跨尺度三维形貌重建、微观缺陷定量表征与定位等研究。中心将依托团队在飞秒光频梳精密测量、数字全息与计算成像、超表面快照光谱成像等方向的积累，形成面向先进制程半导体和高端显示面板的精密量测解决方案。中心首期项目聚焦先进封装TGV无损检测，研制TGV激光诱导断层扫描3D检测系统，重点攻克透明介质、高深宽比和隐蔽缺陷检测等难题，为先进封装工艺控制提供技术支撑。

随后，唐玉峰与王学谦共同为中心揭牌，双方代表及管理委员会成员共同见证。

冯平法在总结中表示，中心要坚持产业需求导向，推动底层物理研究与设备研发、产线场景深度结合，加强测头研制、算法开发和整机集成协同，以首期TGV无损检测项目检验合作成效，力争尽快取得原理样机突破。

会议现场

揭牌仪式后，王智主持召开中心第一次管理委员会会议。会议审议通过管理委员会章程、合作协议补充协议及首年度工作计划等事项，明确组织架构、运行机制、经费管理和年度攻关任务，为中心规范运行和高效协作提供制度保障。

合影留念

未来，中心将深化产学研协同创新，加快关键核心技术攻关和成果转化，为高端量测装备自主研发、拔尖创新人才培养和国家战略性新兴产业发展提供支撑。

文：李秀美

图：王延玉

编辑：吴鸿瑶

审核：林洲璐、叶思佳