1. 外差光栅干涉原子级超精密测量技术与系统，深圳市稳定支持计划项目，2023.12-2025.11，主持

2. 在线水质分析仪的智能化技术研究，企业合作项目，2023.10-2025.09，主持

3. 大面积混合光栅加工技术研究项目，华为技术有限公司，2023.08-2025.02，主持

4. 基于混合编码平面光栅的绝对式六自由度纳米/亚角秒测量机理与系统，国家自然科学基金项目，2023.1-2026.12，主持

5. 光芯片微视觉检测系统关键技术研究开发，企业合作项目，2021.11-2023.11，主持

6. 面向14nm光刻机的多维光栅干涉测量模型与动态误差补偿机制研究，广东省基础与应用基础研究基金项目，2021.10-2024.9，主持

7. 基于超声辅助和智能视觉的高效能制造生产技术研究，清华大学深圳国际研究生院联合研究项目，2021.10-2024.9，主持

8. 基于机器视觉的品质检验关键技术研究，深圳市科技计划基础研究稳定支持项目，2021.6-2024.5，参与

9. 清华大学深圳国际研究生院-南宁智能制造中心，2021.1-2023.12，主持

10. 高一致性平面二维纳米光栅干涉光刻加工关键技术研究，国家自然科学基金项目，2020.1-2022.12，主持

11. 面向多场景自动光学检测的智能打光平台，企业合作项目，2019.4-2021.4，主持

12. 基于二维光栅阵列的高精度干涉测距数据融合方法与实现，清华大学深圳国际研究生院青年科研基金项目，2018.7-2020.6，主持

13. 长尺度高分辨六自由度光栅尺，广东省自然科学基金项目，2018.5-2021.4，主持

14. 超长尺度多自由度精密光栅测距系统关键技术研究，深圳市基础研究计划，2018.4-2021.3，参与

15. 高速度高精度PE膜红外测厚仪开发，企业合作项目，2017.5-2018.5，主持

16. 光栅制造偏差检测及大量程测量误差补偿方法，国家重点研发计划项目，2016.6-2019.6，参与

17. 面向高端装备的光栅干涉测距关键元件制作工艺研究，深圳市基础研究计划，2016.7-2018.7，主持

18. 半导体激光光刻加工复杂光栅的关键技术研究，中国博士后科学基金特别资助项目，2016.3-2016.12，主持

19. 绝对式二维光栅尺关键技术的研发，深圳市技术攻关计划项目，2015.7-2017.6，参与

20. 基于蓝光半导体激光器的一维光栅拼接加工方法研究，中国博士后科学基金面上项目，2015.3-2016.12，主持

21. 光学构件空间位姿监测用双频复合二维光栅多自由度纳米测量系统研究，国家自然科学基金面上项目，2015.1-2019.12，参与