专利示意图

一、技术领域

电化学分析技术领域

二、专利介绍

1.专利信息

专利类型：发明

专利权人：清华大学深圳国际研究生院

申请号：202311691316.5

发明人：潘燕芳、石楚琪、许燕娜、李晓静、李宝华

2.专利说明书摘要

本申请提供了一种适用于TOF-SIMS的样品组件制备方法，包括步骤：于载样板的一侧设置待处理样品，待处理样品包括伸出载样板的边缘的凸出部；于待处理样品背离载样板的一侧设置抛光挡板，部分凸出部伸出抛光挡板的边缘，获得待处理样品组件；采用离子束对伸出抛光挡板的边缘的部分凸出部进行研磨，从而待处理样品上形成与抛光挡板齐平的抛光截面，以及移除抛光挡板，获得样品组件。本申请提供的制备方法处理的样品表面清洁无污染，样品中的载样板可以为待测样品提供辅助支撑和稳固。另，本申请还提供一种样品组件。

3.创新点

区别常规的截面制备方式，能够确保制备的截面样品不会因为附着力不好脱落，因为有硅片的辅助支撑，截面能立起来，不会因为无法立起来导致无法测试到截面。样品经过离子抛光后也相当于做了一次表面清洁，去除外来污染，减少污染源信号。薄膜、纤维等样品也能通过这个方式制备，可操作性强。

4.痛点问题

（1）极片截面因为附着力不好脱落

（2）极片无法立起来

5.技术优势

TOF-SIMS测试样品台尺寸有限，不满足尺寸要求的样品无法进样测试。对于满足TOF-SIMS尺寸要求的块状截面样品，离子抛光后可以取下来直接进样测试。对于薄膜/单根纤维/极片样品，样品本身无法立起，需要外物辅助支撑，本发明选择用Si片支撑。因为硅片表面平整，利于帖样。用的单晶硅片，也容易得到平整的端面。本发明特别提到极片的截面制样，因为极片通常附着力不佳，需要用铜胶带包裹住，免得样品在离子抛光时脱落，还有离子抛光结束后取下样品时因为是硅片粘的少量银胶，极片本身不会受到影响避免取样导致的脱落，导致制样失败。

三、产业化信息

1.应用场景

薄膜、单根纤维、极片样品的TOF-SIMS测试

2.合作方式

面议

注:所有成果未经授权，请勿转载

联系方式：ttc@sz.tsinghua.edu.cn